【産総研グループ×日本ガイシ】窒化ケイ素製セラミック基板の評価手法のJIS改正に向けた共同研究を開始 株式会社AIST Solutionsのプレスリリース
産総研グループ（国立研究開発法人 産業技術総合研究所（以下「産総研」という）および株式会社AIST Solutions）と、日本ガイシ株式会社（以下「日本ガイシ」という）はこのたび、パワー半導体搭載部品（パワー半導体モジュール）などに使われる窒化ケイ素製セラミック基板の熱拡散率評価手法の検証に関する共同研究を開始しました。共同研究を通じて最先端の製品における評価手法の高精度化を進めることで、高度な技術を持つ基板メーカーの製造開発を後押しし、世界的に拡大する電子デバイス関連市場での競争力向上に寄与します。 窒化ケイ素製セラミック基板は、電気自動車（EV）やハイブリッド車（HEV）のモーター制御用のインバーターなどに使われる絶縁放熱回路基板の中核を担う部品です。パワー半導体モジュールが駆動する際に発生する熱を逃がす役割を担っており、基板が薄く熱拡散率が高いほど、パワー半導体モジュールの動作効率を向上させることができます。 EVやHEVの普及とともに、大電力に対応するパワー半導体モジュールが多く使われるようになり、放熱性能の高い薄板基板の需要も高まっています。一方で、0.
5ミリメートルより薄い基板の熱拡散率の評価手法が規定されていないことから、測定結果の同等性確保が課題となっていました。 この共同研究では、評価手法に関する幅広い知見を持つ産総研と、高度なセラミック基板関連技術を持つ日本ガイシが、基板の熱拡散率測定に影響を及ぼす前処理工程の定量化に向けたデータ収集を実施します。これにより、既存の日本産業規格（JIS）では規定されていない0.5ミリメートルよりさらに薄い高性能な薄板基板の評価手法を検証し、測定値の精度向上と評価手法の将来的な標準化に貢献します。
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