첨단 반도체 확보 경쟁이 전세계 나라별 산업 정책의 핵심이 되면서, 첨단 반도체 생산 공정에 필수인 차세대 ‘노광 장비’를 ...
첨단 반도체 확보 경쟁이 전세계 나라별 산업 정책의 핵심이 되면서, 첨단 반도체 생산 공정에 필수인 차세대 ‘노광 장비’를 두고 경쟁이 치열해지고 있다. 네덜란드 에이에스엠엘이 만드는 극자외선 노광장비가 이 시장을 독점하고 있는 가운데, 일본과 중국이 극자외선 특허 기술을 피한 새로운 방식으로 첨단 반도체 생산 장비를 만드는데 공을 들이고 있다. 이 기술의 상업화 여부가 반도체 기업의 경쟁력 뿐만 아니라, 미국과 중국의 기술 패권 경쟁 등에 영향을 끼칠 것으로 풀이된다.
노광은 반도체 생산공정에서 웨이퍼에 회로도를 인쇄하는 것을 말한다. 반도체 생산의 경쟁력은 반도체 회로의 선폭을 얼마나 정밀하게 그릴 수 있느냐에 달려 있는데, 이 정밀한 작업이 가능한 노광장비를 확보하는 게 반도체 업체의 경쟁력으로 이어진다. 에이에스엠엘은 세계에서 유일하게 7나노미터 이하 첨단 반도체 생산 공정에 핵심인 극자외선 노광장비를 생산하는데, 한대당 가격은 2억 달러로 추산된다. 연간 생산량도 60대 안팎에 불과하다. 중국의 움직임도 눈에 띈다. 미국의 장비 수출 규제를 극복하기 위해 중국은 입자가속기를 활용한 반도체 생산 장비 개발을 추진중이다. 홍콩 신문 ‘사우스차이나모닝포스트’ 보도를 보면, 칭화대 연구진이 입자가속기를 활용해 광원을 만들어 내는 프로젝트에서 성과를 내면서, 중국 정부가 이를 바탕으로 대규모 반도체 노광 장비 공장 설립을 추진 중이라고 한다. 실용화되면 중국이 2나노급 첨단 반도체를 자력으로 생산할 수 있는 길이 열리는 것이다.
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