【独自技術】CVD-SiC製品「Mirror Beta®」のグローバル展開を開始 株式会社東海エンジニアリングサービスのプレスリリース
株式会社東海エンジニアリング サービス （本社：愛知県名古屋市、以下TES）は、独自開発した化学蒸着法（CVD）による炭化ケイ素（SiC）製品の商標「Mirror Beta®」を国内外で登録し、グローバル展開を本格的に開始することをお知らせします。TESは、国の開発支援プログラム「サポイン事業」などを活用し、CVD法によるSiC製造技術の開発を進めてきました。従来のCVD法による皮膜層は数十μm程度の厚みが限界とされてきましたが、当社は独自開発の装置により、7mmまでの厚膜形成を可能にする画期的な技術を確立しました。本技術により製造されるCVD-SiCは、二つの革新的な特長を有しています。第一に、7mmという世界最高水準の厚膜形成を達成しました。第二に、独自の装置とプロセス開発により、厚膜形成時でも結晶粒径を微細に制御することに成功。これにより、光学用途に最適な緻密でより均一な結晶構造を実現しており、この特長は、多刃工具による切削実験でも実証されています（坂井田未来, et al.
"PCD 工具による CVD-SiC の鏡面切削 CVD-SiC の粒径の影響." 精密工学会学術講演会講演論文集 公益社団法人精密工学会. 2023.）。世界各国からの需要の高まりを受け、アジアや欧州への輸出を開始しています。製品の信頼性と品質を保証するため、超精密なミラー面が実現できる立方晶（βタイプ）結晶という特長を示す「Mirror Beta®」という商標を、日本をはじめ、米国、EU諸国、中国、韓国、台湾など主要国で登録を進めています。超精密な鏡面が要求される光学部品として関連産業分野のニーズに対応できる供給体制を整えました。今後、グローバル市場での「Mirror Beta®」ブランドの確立を目指してまいります。
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